CVD 화학 증착로, 자동 지르코니아 소결로
화학 증기 증착로 응용 프로그램:
화학 증착로 C/C 복합 재료 및 SiC 복합 재료의 CVD 및 CVI 처리와 같이 탄소 가스(C3H8 등)를 탄소 소스로 사용하는 복합 재료의 화학 기상 증착에 사용할 수 있습니다.
화학 증기 증착로 특징:
고급 제어 기술을 사용하여 가스의 흐름과 압력을 정밀하게 제어할 수 있으며 용광로의 증착 가스 흐름이 안정적이며 압력 변동 범위가 작습니다.
특수 구조 증착 챔버는 우수한 밀봉 효과와 강력한 오염 방지 능력을 가지고 있습니다.
다중 채널 증착 가스 경로가 채택되고 유동장이 균일하고 증착 사각이 형성되지 않으며 증착 효과가 좋습니다.
부식성 테일 가스, 인화성 및 폭발성 가스, 고체 먼지 및 침전에 의해 생성된 저융점 점성 제품을 효과적으로 처리할 수 있습니다.
최신 디자인의 부식 방지 진공 장치는 작업 시간이 길고 유지 보수율이 낮습니다.
증착로의 주요 구성
용광로 도어: 스크류 리프트 / / 유압 리프트 /;수동 잠금 / 자동 잠금 링 잠금
용광로 쉘: 전체 탄소강/내층 스테인리스강/전체 스테인리스강
용광로: 연질 탄소 펠트 / 연질 흑연 펠트 / 경질 복합 펠트
히터: 등방 흑연 / 성형 3 고 흑연 / 미세 흑연
공정 가스 시스템: 부피/질량 유량계;수동 밸브/자동 밸브;수입/국내
진공 펌프 및 진공 게이지 --- 수입/국내
인간-기계 인터페이스: 터치 스크린/산업용 컴퓨터
전기 부품: Chint / Schneider / Siemens
| 볼륨(L) | 35 | 226 | 602 | 1177 | 1899년 |
| 최고 온도(°C) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 작업 영역 크기 D × H(mm) | Φ300×500 | Φ600×800 | Φ800×1200 | Φ1000×1500 | Φ1100×2000 |
| 온도 조절 방식 | 일본 섬 전기 온도 조절기 | ||||
| 가열 방법 | 저항 가열 | ||||
| 진공 시스템 | 방오 펌프 또는 스풀 펌프 + 루츠 펌프 | ||||
| 소결 분위기 | 탄화수소 가스 등 | ||||
| 정격 전원 전압(V) | 380 | ||||
| 정격 가열 전압(V) | 설계에 따라 용광로 변압기를 구성하십시오. | ||||
| 진공 한계(Pa) | 6X10ˉ2 (진공냉동상태) | ||||
